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掃描電鏡(SEM)利用電子和物質(zhì)的相互作用，可以獲取被測(cè)樣品本身的各種物理、化學(xué)性質(zhì)的信息，如形貌、組成、晶體結(jié)構(gòu)、電子結(jié)構(gòu)和內(nèi)部電場(chǎng)或磁場(chǎng)等等。掃描電子顯微鏡對(duì)二次電子、背散射電子的采集，可直接利用樣品表面材料的物質(zhì)性能進(jìn)行微觀成像，可得到有關(guān)物質(zhì)微觀形貌的信息。掃描電鏡有較高的放大倍數(shù)，20-20萬(wàn)倍之間連續(xù)可調(diào);有很大的景深，視野大，成像富有立體感，可直接觀察各種試樣凹凸不平表面的細(xì)微結(jié)構(gòu);試樣制備簡(jiǎn)單，不含水的樣本可以不用固定。
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